Anwendungen für MLase Excimerlaser:
  • Schreiben von Faser-Bragg-Gittern (FBG)
  • Augenchirurgie-Methoden (Ophthalmologie) mittels LASIK (Laser in-situ-Keratomileusis) und PRK (photorefraktive Keratektomie), bei denen die Form der Hornhaut (Kornea) zu Gunsten der optischen Eigenschaften verändert wird. Hierfür werden ArF-Laser bei 193 nm eingesetzt.
  • Optische Inspektion und Messtechnik
  • Testen von Optiken und Mikrooptiken
  • Laserstrukturierung und Scribing
  • Mikromaterialbearbeitung, beispielsweise in Keramik, Metall, oder Kunststoff
  • Laserablation / Laserstrahlverdampfen (Pulsed Laser Deposition, ICP-MS)
  • Dermatologie, z. B. Behandlung von Psoriasis und Vitiligo mit XeCl-Lasern bei 308 nm
  • Immersionslithografie
  • Schreiben von Masken
  • Direkte Waferbearbeitung

Stand-Alone-Geräte mit der höchsten auf dem Markt erhältlichen Standzeit und Zuverlässigkeit und den niedrigsten Betriebskosten. Für anspruchsvolle Anwendungen geeignet durch homogenes Strahlprofil und Energiestabilisierung.

Anwendungsgebiete