MLI-500 / 1000

MLI Excimerlaser LC

Die Geräte der MLI-Serie bieten Excimerlaser mit direkter Wellenlänge für industrielle Anwendungen an. Selbstverständlich können die Basisgeräte bei Bedarf individuellen Bedürfnissen angepasst werden.

Die modernen, kompakten Excimerlaser der MLI-Serie von MLase sind UV-Lichtquellen bei 193 nm oder 248 nm mit hohen Pulsenergien bis 16 mJ und Repetitionsraten bis 1.000 Hz.

Die Excimerlaser mit dem Zusatz „LC“ verfügen zusätzlich über die Möglichkeit der aktiven Wasserkühlung (über Hauswasser, oder externen Wärmetauscher; kein DI-Wasser) für stabilen Dauerbetrieb.

Anwendungen für MLase Excimerlaser:

  • Schreiben von Faser-Bragg-Gittern (FBG)
  • Augenchirurgie-Methoden (Ophthalmologie) mittels LASIK (Laser in-situ-Keratomileusis) und PRK (photorefraktive Keratektomie), bei denen die Form der Hornhaut (Kornea) zu Gunsten der optischen Eigenschaften verändert wird. Hierfür werden ArF-Laser bei 193 nm eingesetzt.
  • Optische Inspektion und Messtechnik
  • Testen von Optiken und Mikrooptiken
  • Laserstrukturierung und Scribing
  • Mikromaterialbearbeitung, beispielsweise in Keramik, Metall, oder Kunststoff
  • Laserablation / Laserstrahlverdampfen (Pulsed Laser Deposition, ICP-MS)
  • Dermatologie, z. B. Behandlung von Psoriasis und Vitiligo mit XeCl-Lasern bei 308 nm
  • Immersionslithografie
  • Schreiben von Masken
  • Direkte Waferbearbeitung

Stand-Alone-Geräte mit der höchsten auf dem Markt erhältlichen Standzeit und Zuverlässigkeit und den niedrigsten Betriebskosten. Für anspruchsvolle Anwendungen geeignet durch homogenes Strahlprofil und Energiestabilisierung.

Datenblatt

MLI-500 / 1000 Excimerlaser LC

Anwendungsgebiete
ISO 13485

Unser Qualitäts­versprechen

EN ISO 13485 – wir entwickeln und produzieren unsere Produkte mit dem höchstmöglichen Anspruch an Leistung und Qualität.