In optischen Laboren und industriellen Metrologiesystemen wird Tief-UV-Beleuchtung häufig für fortschrittliche optische Prüfungen und Sensortests eingesetzt. Sie ermöglicht die Erkennung von Defekten, die Analyse von Materialeigenschaften sowie die Bewertung optischer Leistungen, die bei sichtbaren Wellenlängen nicht erfasst werden können.
Excimerlaser mit 193 nm und 248 nm liefern intensive UV-Pulse und ermöglichen die hochauflösende Inspektion optischer Substrate, Beschichtungen, Photomasken, Sensoren und mikrooptischer Komponenten.
Diese kurzwelligen UV-Lichtquellen ermöglichen eine kontrollierte Beleuchtung von Oberflächen und optischen Strukturen und unterstützen Beschichtungscharakterisierung, Transmissionsmessungen, Defekterkennung sowie präzise optische Prüfungen photonischer Bauelemente.
Da viele optische Materialien im Tief-UV-Bereich starke Absorptionseigenschaften oder charakteristische Streueffekte aufweisen, können Excimer-basierte Beleuchtungssysteme Defekte im Nanometerbereich an Oberflächen, Defekte unterhalb der Oberfläche und Unregelmäßigkeiten in Beschichtungen sichtbar machen, die bei längeren Wellenlängen verborgen bleiben.
Diese Fähigkeiten werden umfassend in der Photonikforschung, der Halbleiterinspektion und der Qualitätskontrolle optischer Fertigungsprozesse eingesetzt.
Die MLase GmbH entwickelt kompakte Excimer-basierte UV-Lichtquellen für die Integration in optische Prüfstände, Metrologiesysteme und wissenschaftliche Instrumente. Mit stabiler Pulsenergie und zuverlässiger UV-Emission gewährleisten diese Systeme eine konstante Beleuchtung für hochpräzise optische Prüfungen und Charakterisierung in Labor und Industrie.