In optischen Laboren und industriellen Messsystemen wird Tief-UV-Beleuchtung für anspruchsvolle optische Prüfungen und Sensortests eingesetzt. Sie ermöglicht die Detektion von Defekten, die Analyse von Materialeigenschaften und die Bewertung optischer Leistungsmerkmale, die bei sichtbaren Wellenlängen nicht erkennbar sind. Excimerlaser mit 193 nm und 248 nm liefern intensive UV-Pulse für die hochauflösende Inspektion optischer Substrate, Beschichtungen, Photomasken, Sensoren und mikrooptischer Komponenten.
Diese UV-Lichtquellen mit kurzen Wellenlängen ermöglichen die kontrollierte Beleuchtung von Oberflächen und optischen Strukturen und unterstützen Beschichtungscharakterisierung, Transmissionsmessungen, Defekterkennung sowie die präzise Prüfung photonischer Komponenten.
Da viele optische Materialien im Tief-UV-Bereich eine starke Absorption oder charakteristische Streueffekte zeigen, können excimerbasierte Beleuchtungssysteme nanoskalige Oberflächenfehler, subsurface Defekte und Unregelmäßigkeiten in Beschichtungen sichtbar machen, die bei längeren Wellenlängen verborgen bleiben. Diese Fähigkeiten werden häufig in der Photonikforschung, der Halbleiterinspektion und der Qualitätssicherung in der Optikfertigung genutzt.
Die MLase GmbH entwickelt kompakte UV-Lichtquellen für die Integration in optische Testsysteme, metrologische Anlagen und wissenschaftliche Instrumente. Mit stabiler Pulsenergie und zuverlässiger UV-Emission liefern diese Systeme eine konsistente Beleuchtung für hochpräzise optische Prüfungen und Charakterisierungsaufgaben in Labor- und Industrieumgebungen.