Industrielle Anwendungen sind sehr vielfältig. Wir bedienen diese über einen Baukasten zur Anpassung alle individuellen Anforderungen. Gerne konfigurieren wir für Sie je nach Wellenlänge (193nm, 248nm, 308nm) mit oder ohne Wasserkühlung und für Pulsfolgefrequenzen aktuell bis 1 kHz.
Je nach Ausführung (mit oder ohne Wasserkühlung) sind sie sehr kompakt mit Abmaßen von 560mm x 355mm x 445mm (ohne hervorstehende Teile). Gerne ergänzen wir für Sie auch das passende Gasversorgungs-System.
Typische industrielle Anwendungen dieser Excimer-Laser sind:
- Schreiben von Faser-Bragg-Gittern (FBG)
- Optische Inspektion und Messtechnik wie das Testen von Mikrooptiken
- Laserstrukturierung und Scribing
- Mikromaterialbearbeitung, beispielsweise in Keramik, Metall, oder Kunststoff
- Laserablation / Laserstrahlverdampfen (Pulsed Laser Deposition, ICP-MS)
- In der Halbleiterherstellung zum Inspizieren von Masken oder zur direkten Waferbearbeitung
In Dauerbetriebanwendungen haben sich unsere Laser als besonders robust erwiesen. Wir garantieren mehrere hundert Millionen Laserpulse bevor ein Wechsel der Optik notwendig ist.